齐主进入晋阳，忧愁恐惧不知去哪里。甲寅（初十），齐大赦天下。齐主向朝廷大臣询问计策，都说：“应该减轻赋税徭役，来安抚民心；收集残余士兵，背城一战，来安定国家。”齐主想留下安德王高延宗、广宁王高孝珩守卫晋阳，自己去北朔州（治所在今山西朔州）。（胡三省注：魏孝昌中，改怀朔镇为朔州，本是汉五原郡地；不久就陷落，而朔州寄治在并州境内。后齐在古马邑城设置朔州，在西河郡设置南朔州，所以称马邑为北朔州。《新唐志》说：朔州本治善阳，唐建中中，马遂移治马邑。大元在朔州设置顺义节度，领鄯阳、窟谷二县，而在马邑县设置固州。）如果晋阳守不住，就逃往突厥，群臣都认为不行，皇帝不听。
高阿那肱所部还有一万士兵，守卫高壁（今山西灵石东南），（胡三省注：高壁，岭名，在雀鼠谷南。《括地志》：汾州灵石县有高壁岭。杜佑说：在县东南。宋白说：灵石县东南有高壁岭、雀鼠谷、汾水关，都是汾西的险要之地。）其余部众守卫洛女砦（今地不详）。周主领兵向高壁，高阿那肱望风退走。齐王宇文宪攻打洛女砦，攻克了它。有士兵报告高阿那肱招引西军，齐主命令侍中斛律孝卿查验，斛律孝卿认为是假的。返回，到晋阳，高阿那肱的心腹又报告高阿那肱谋反，又认为是假的，杀了报告的人。
29乙卯（十一日），齐主下诏安德王高延宗、广宁王高孝珩招募士兵。高延宗入宫见齐主，（胡三省注：见，贤遍翻。）齐主告诉想去北朔州，（胡三省注：后魏太和中，在定襄故城设置朔州。高齐天保，在马邑西南设置朔州，相距三百八十里。所以定襄古城的朔州有北朔州的称呼。）高延宗哭着劝谏，齐主不听，秘密派亲信先送皇太后、太子到北朔州。
30丙辰（十二日），周主和齐王宇文宪在介休（今山西介休）会合。齐开府仪同三司韩建业献城投降，被任命为上柱国，封郇公（郇，古国名，在今山西临猗西南）。
这天夜里，齐主想逃走，众将不听从。丁巳（十三日），周军到达晋阳。齐主又大赦天下，改元隆化。任命安德王高延宗为相国、并州刺史，总领山西的军队，（胡三省注：并，卑经翻。邺都称并州之地为山西。）对他说：“并州兄自己取，我现在走了！”高延宗说：“陛下为国家不要动。臣为陛下拼死作战，必定能打败他们。”穆提婆说：“至尊的计划已定，王不能阻止！”齐主于是夜里从五龙门（晋阳宫城北门）逃出，想逃往突厥，随从官员大多逃散。领军梅胜郎拉住马缰绳劝谏，才回向邺城。当时只有高阿那肱等十几名骑兵跟随，广宁王高孝珩、襄城王高彦道随后赶到，有几十人和他们一起。
穆提婆向西投奔周军。陆令萱自杀，家属都被诛杀没收。周主任命穆提婆为柱国、宜州刺史（治所在今陕西华阴）。（胡三省注：《五代志》：京兆郡华原县，后魏设置北雍州，西魏改为宜州。）下诏晓谕齐群臣说：“如果能充分发挥人的谋略，深刻理解天命，官职荣誉爵位赏赐，各有增加。如果是我国的将士，逃到你们朝廷，无论贵贱，都予以赦免。”从此齐臣投降的接连不断。
起初，齐高祖为魏丞相时，（胡三省注：齐尊高欢庙号为高祖。）让唐邕掌管外兵曹，太原白建掌管骑兵曹，都因善于文书计算、精通簿帐受到信任。到齐接受禅让，各部门都归尚书省；只有二曹不废除，改名为二省。唐邕官至录尚书事，白建官至中书令，常常掌管二省，世人称为“唐、白”。唐邕兼管度支，和高阿那肱有矛盾，高阿那肱诬陷他，齐主敕令侍中斛律孝卿总领骑兵、度支。斛律孝卿处理事务多独断专行，不再请示。（唐邕自认为熟悉旧例，被斛律孝卿轻视，心里很郁闷。（胡三省注：郁闷，是受压抑而气不能舒。）到齐主返回邺城，唐邕就留在晋阳。并州将帅向安德王高延宗请求说：“王不做天子，众人实在不能为王拼死效力。”高延宗不得已，戊午（十四日），即位为皇帝。下诏说：“武平（齐主年号）软弱无能，（胡三省注：孱，软弱。）政令由宦官掌握，连夜破关逃跑，不知去向。王公卿士，被推举逼迫，现在恭敬地继承皇位。”大赦天下，改元德昌。任命晋昌王唐邕为宰相，齐昌王莫多娄敬显、沭阳王右卫大将军段畅、开府仪同三司韩骨胡等为将帅。莫多娄敬显，是莫多娄贷文的儿子。（胡三省注：这都是齐所封的郡王。《五代志》：西城郡石泉县，旧设置晋昌郡。蕲春郡蕲春县，后齐设置齐昌郡。东海郡沭阳县，东魏设置沭阳郡。莫多娄贷文战死，事见一百五十八卷梁武帝大同四年。）众人听说后，不召而来的，前后接连不断。高延宗拿出府库财物和后宫美女赏赐将士，没收十几家宦官的财产。齐主听说后，对近臣说：“我宁愿让周得到并州，也不想安