“好!既然两位有如此决心,愿意承担所有商业风险,为我们扫清后顾之忧……那这个前所未有的挑战,我梁孟松,代表中芯国际最核心的技术团队,接下了!”
“ 我们会立即成立最高优先级的‘dUV极限工艺’专项攻关组,抽调最精锐的力量,调动一切可调动的资源,去尝试这条‘邪路’。”
他顿了顿,依旧保持着技术人特有的严谨与对未知的敬畏:“我不敢打包票一定能成功,更不敢向各位承诺任何明确的时间表和最终能达到的性能指标。 ”
“这条路的前方,是未经探索的黑暗深水区,失败、反复、甚至彻底走不通的概率,远大于一次成功的曙光。”
“我只能向各位保证:中芯国际最顶尖的工艺团队,将会用上百分之两百的努力,拿出当年从零开始追赶世界先进水平的劲头,甚至是啃最硬骨头的玩命精神,去尝试,去攻坚,去撞南墙!尽力而为,至死方休!”
他的目光扫过李焕、任老,声音沉郁而坚定:“不试,在现有的封锁下,我们肯定是死路一条,高端芯片命脉彻底被人捏死。试了,哪怕只有万分之一的渺茫生机,也值得我们把所有身家性命都押上去,拼死搏这一把! ”
“这万分之一的可能,就是华国半导体产业在至暗时刻,保留下来的一颗火种!”
悲壮而决绝的共识,在凝重的空气中铿锵落地。这不再是商业谈判,而是一份向技术极限发起自杀式冲锋的生死状。
告别了接下“军令状”的梁孟松,李焕和任老的行程并未结束。
他们马不停蹄地赶往下一站——华夏微电子。这所特殊的公司,正是数年前由李焕亲自倡议,联合华为、橙子科技、中芯国际、阿里等国内有志于攻克“卡脖子”难题的巨头,共同出资设立的国家级光刻机研发主体,旨在集中力量攻克从dUV到EUV的光刻机核心技术。
当年,李焕力排众议邀请半导体产业元老、德高望重的张汝经出山,执掌这家承载着民族希望的“争气机”公司。
经过数年不计成本、呕心沥血的投入与攻关,华夏微电子在张汝经的带领下,已经基本攻克了dUV光刻机的核心技术难关,实现了从光源、物镜、工作台到控制系统的全国产化或深度自主化。
至于更尖端的EUV光刻机,张汝经曾坦率地表示,那还需要一段非常遥远且艰苦的攀登之路,涉及的基础科学和工程难题更多。
但没有人能对这位殚精竭虑的老人苛求更多,正是他带领团队没日没夜的奋战,才在最黑暗的时刻,为国产光刻机保留了最珍贵的火种和追赶的可能。
在华夏微电子简洁而充满技术感的会议室里,张汝经似乎早已预料到他们的到来。
老人精神依旧矍铄,但眼角深深的皱纹和鬓角更多的白发,无声诉说着这几年的艰辛。
“美国商务部的制裁公告一发出来,我就知道,你们肯定要到我这个‘老家伙’这里来问计了。”张汝经开门见山,声音洪亮却带着一丝疲惫,“不瞒你们,我们的第一台全国产化dUV光刻机工程样机,已经在上个月正式下线,完成了内部集成测试。”
这是个振奋人心的消息!但张汝经话锋一转,指出了现实:“不过,从工程样机到稳定可靠、良率达标、能够进入晶圆厂生产线进行大规模商业化生产的‘工业母机’,中间还有大量的工艺磨合、可靠性验证和持续优化工作要做。这个过程,乐观估计,至少还需要半年时间。”
“半年?”李焕闻言,非但没有失望,反而眼中闪过些许欣慰,低头沉思片刻,竟然说道:“那时间……反倒刚刚好。”
“刚刚好?”张汝经有些不解地看向李焕,眉头微蹙。在争分夺秒的生死关头,半年时间怎么能说“刚刚好”?不是应该越短越好吗?
李焕当即向张汝经详细透露了刚才与梁孟松会面商谈的结果,特别是那个“用dUV光刻机加多重曝光等极限工艺,强行逼近先进制程”的疯狂计划。
“梁博士那边想要攻克这套前所未有的复杂工艺,从理论推演到实验室验证,再到生产线上的工艺整合与良率爬升,本身就需要一段不短的时间,可能也需要数月甚至更长。”
李焕分析道,“这半年,刚好可以让我们国产的dUV光刻机完成最后的商业化冲刺,实现从‘实验室作品’到‘产线武器’的蜕变。 时间线上,可以衔接。”
他接着提出了此行的核心请求之一:“张老,我们这次过来,除了同步信息,更重要的是想和您商量:能否在我们国产的dUV光刻机设计和后续优化中,就提前考虑并针对性加强其应对‘多重曝光’等超复杂工艺的需求?”
“ 比如,在套刻精度(overlay)、产率(throughput)优化、以及对特殊材料和工艺的兼容性上,进行一些前瞻性的设计和