改造？”

    “让它不仅是一台能用的dUV光刻机，更是一台为‘极限工艺’而生的‘特制武器’？”

    张汝经闻言，眉头紧紧锁起，陷入了技术层面的深度思考。

    作为中芯国际的创始元老之一，他太了解芯片制造的复杂性与精度要求了。

    他缓缓说道：“从理论原理上讲，用dUV光刻机通过多重曝光等技术去冲击更小线宽，确实是半导体发展史上曾出现过的一种技术路径。”

    “但正如梁博士所言，这条路会将工艺流程变得极其复杂和脆弱，对光刻机本身的稳定性、精度和产能都是极限考验。 ”

    “即便我们的机器能满足基本要求，其带来的结果也必然是——成本会被极大地提升，生产效率会极低。”

    “生死关头，再计较成本，毫无意义。” 任老在一旁，用他特有的、平静却蕴含着千钧之力的话语，淡淡地回应了一句。

    “张老，所有因此产生的额外研发、改造、以及未来生产中的效率损失成本，全部由我们下游采购方——华为和橙子科技——负责承担。 我们已经和梁博士达成了共识。”李焕紧跟着给出了最实际的保障。