几天,程实几乎吃住都在车间里。他每天只睡四个小时,其余时间都在各个生产环节巡查指导。
遇到问题,立刻现场解决;发现偏差,马上调整参数。
硅片提纯车间里,工人们轮流值守,盯着区熔炉的温度和纯度检测数据,确保每一片硅片都达到 9 个 9 的纯度。
有一次,纯度检测发现有一个批次的硅片纯度差了 0.00000001%,程实毫不犹豫地让人把整批次硅片都销毁了。
“同志们,” 程实站在车间里,对着工人们说,“我们生产的不是普通芯片,是国家的国防利器。
差一丝一毫都不行,宁可销毁,也不能让不合格的产品流下去。”
工人们都被程实的严格要求打动了,做事更加认真仔细。
光刻机车间里,程实亲自操作光刻机,进行第一片晶圆的光刻。
他盯着屏幕上的电路图案,手指精准地控制着设备的每一个动作。
当第一片晶圆光刻完成,经过检测,电路图案的精度完全符合要求时,车间里爆发出一阵压抑的欢呼。
“成功了!光刻成功了!” 工程师们激动地互相拥抱。
程实脸上露出一丝疲惫但欣慰的笑容,说道:“好样的!接下来就是蚀刻和镀膜,大家继续加油,不能松懈。”
蚀刻车间里,等离子体蚀刻机正在高速运转。
程实站在旁边,看着蚀刻后的晶圆,通过电子显微镜仔细观察蚀刻的深度和均匀性。“深度刚好,均匀性也达标。”
他满意地点点头,“可以进行下一步镀膜了。”