但里面的生产线，光刻机等设备，都要王逸自己解决。
这些才是最贵的，保守估计后续投入也得一百五十亿起步。
像是光刻机，2010年阿斯麦就推出了EUV光刻机TwINSCAN NXE:3100。
前世，2013年阿斯麦又推出EUV光刻机 NXE:3300。
不过这些先进的EUV光刻机，王逸就不考虑了，不现实，不可能对内地企业出售的。
前世中芯国际订购了一台EUV光刻机，花了1.2亿美金，钱都付了，最后因为帝国阻挠，阿斯麦也迟迟没有发货。
相反，内地企业能买到的，也就是落后很多代的dUV光刻机。
比如2016年出的NXT 1980di，是前世内地企业买到的最先进光刻机之一，也是中芯国际主力机型。
更先进的dUV光刻机NXT:2000i，都买不到，更别说NXT:2050i。
NXT 1980di原本用于制造300nm-38nm制程，二重曝光后可以达到19nm制程。
中芯国际，华力等企业，都是用NXT 1980di二重曝光，量产28-19nm的芯片。
同样，要用 NXT:1980di来制造14nm、7nm的芯片，那就得靠多重曝光技术，对厂家的技术要求非常高，量产芯片的成本也很高。
最初，台积电用NXT:1980di来制造7nm芯片，效果很不理想，良品率低，成本高，最后还是换上EUV光刻机，才实现了完美的7nm。
但中芯国际买不到EUV光刻机，只能硬着头皮用NXT 1980di进行三重曝光，四重曝光，甚至五重曝光。
幸好梁老能力突出，在多重曝光领域造诣颇深，硬是推出N+1、N+2工艺，用NXT 1980di这种落后的光刻机，实现了14nm、10nm，甚至7nm。
梁老的两重曝光技术，不但把中芯国际的28nm良品率从50%提到了90%以上，成本也不会增加太多。
使得中芯国际的28nm工艺大规模量产，能满足大多数芯片需求。
14nm需要三重曝光，凭借梁老的技术，良品率和成本也能保证。
可7nm制程，就要用NXT 1980di四重曝光，技术方面梁老都能解决，但良品率和成本就不好说了。
巧妇难为无米之炊。
拿着NXT 1980di当EUV3300用，真是太强人所难。
不过，在国产光刻机突破之前，这也是迫不得已的办法。
当然，2011年NXT 1980di还没有发布。
王逸当下能买到的光刻机型号，是2009年推出的NXT：1950i，和今年刚推出的NXT：1960Bi。
其实1950i/1960Bi/1970ci/1980di，这四款光刻机都是同样的光源系统，单次曝光都在38nm以上，多重曝光都能生产28nm、16nm、14nm、12nm，甚至7nm。
后续的NXT：1960Bi、1970Ci、1980di，不过是在NXT：1950i进行了部分升级，提高了良品率和精度，本质上相差不大。
像是三星台积电的未来几年的28nm、22nm、20nm、16nm、14nm、10nm，很多都是用的NXT：1950i！
毕竟三星、台积电2016年量产10nm芯片的时候，NXT：1980di光刻机才开始量产！
7nm之前的制程，三星台积电用的都是1950i、1960Bi、1970Ci等老型号。
只要不量产7nm，都没压力。
同样，王逸的12英寸晶圆厂，若是买到NXT：1950i和1960Bi，也能从明年的28nm，一直用到22nm、20nm、16nm、14nm、10nm，甚至7nm。
但今年刚出的1960Bi不太现实，估计阿斯麦不卖。
不过老款的1950i运作一下，还是有希望的。
当下欧美对国内的封锁限制，还不是那么严密。
若是趁机出手，多订一批，那后续就高枕无忧了。
哪怕溢价买，都不成问题！
王逸记得，前世EUV光刻机要1.2亿美金，1980di要7200万美金。
而当下的1950i估计会便宜一些。
为此，王逸拿出手机，开始查数据。
果然，一台1950i光刻机要4000万欧元，5470万美元，也就是3.5亿人民币。
进上十台，就是35亿。
20台就是70亿！
为什么一次性进这么多？还不是怕做大了被锤！